Ứng dụng của màng AlN trong công nghệ

Luận văn thạc sĩ hay khảo sát tính chất quang và điện của màng a1n được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng dc

Khảo sát tính chất quang và điện của màng a1n chế tạo bằng phún xạ phản ứng dc, cung cấp cái nhìn sâu sắc về ứng dụng trong công nghệ.