Luận văn nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc
Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt phát hiện dẫn không tiếp xúc trong dòng chảy chất lỏng với cấu trúc cặp điện dung vi sai.