ứng dụng MEMS trong công nghiệp

On the quality factors of mems resonators

Khám phá các yếu tố chất lượng của bộ cộng hưởng MEMS, ảnh hưởng đến hiệu suất và ứng dụng trong công nghệ hiện đại.

Luận văn thiết kế và mô phỏng cấu trúc vi cơ từ tính ứng dụng cho hệ hiển vi lực nguyên tử

Luận văn trình bày thiết kế và mô phỏng cấu trúc vi cơ từ tính, ứng dụng trong hệ hiển vi lực nguyên tử, góp phần nâng cao hiệu suất nghiên cứu.