Nghiên cứu cảm biến vi mạch

Luận văn microfluidic sensor based on aln vertical saw structure

Nghiên cứu cảm biến vi lưu dựa trên cấu trúc cắt đứng AlN, ứng dụng trong công nghệ cảm biến hiện đại và tiềm năng trong y tế.