Nghiên Cứu Chế Tạo Sứ Áp Điện Bari-Titanat Làm Nguồn Phát Siêu Âm

Khám phá quy trình chế tạo vật liệu sứ áp điện, ứng dụng trong nguồn phát siêu âm, mang lại hiệu suất cao và tiềm năng ứng dụng rộng rãi.

• Tác giả: Nguyen An Vinh
• Trường học: Sở Khoa Học Công Nghệ Thành Phố Hồ Chí Minh
• Chuyên ngành: Vật Liệu
• Đề tài: Nghiên Cứu Chế Tạo Sứ Áp Điện Bari-Titanat Làm Nguồn Phát Siêu Âm
• Loại tài liệu: Đề Tài
• Năm xuất bản: 2003
• Địa điểm: Thành Phố Hồ Chí Minh

Tóm tắt

I. Tổng Quan Về Nghiên Cứu Sứ Áp Điện và Siêu Âm

Nghiên cứu về sứ áp điện và ứng dụng của nó trong việc tạo ra nguồn phát siêu âm là một lĩnh vực quan trọng trong khoa học vật liệu và kỹ thuật điện tử. Bari-Titanat (BaTiO3) là một trong những vật liệu áp điện phổ biến nhất được sử dụng do tính chất điện môi và áp điện vượt trội của nó. Nghiên cứu này tập trung vào việc chế tạo vật liệu này và tối ưu hóa các đặc tính của nó để ứng dụng trong các ứng dụng siêu âm. Việc phát triển các nguồn phát siêu âm hiệu quả và ổn định có ý nghĩa lớn trong nhiều lĩnh vực như y tế, công nghiệp và nghiên cứu khoa học. Hiệu suất của transducer siêu âm phụ thuộc lớn vào chất lượng và đặc tính áp điện của vật liệu sử dụng. Nghiên cứu này hướng đến việc tạo ra sóng siêu âm với tần số siêu âm và năng lượng siêu âm mong muốn.

1.1. Lịch sử phát triển của vật liệu gốm áp điện

Lịch sử phát triển của vật liệu gốm áp điện, đặc biệt là Bari-Titanat (BaTiO3), đánh dấu một bước tiến quan trọng trong lĩnh vực khoa học vật liệu. Từ những nghiên cứu ban đầu về hiệu ứng áp điện đến việc phát triển công nghệ chế tạo sứ tiên tiến, lịch sử này phản ánh sự nỗ lực không ngừng trong việc cải thiện hiệu suất và mở rộng ứng dụng của Bari-Titanat. Các nghiên cứu trước đây đã tập trung vào các phương pháp tổng hợp vật liệu, điều chỉnh thành phần hóa học và tối ưu hóa quy trình nung kết để đạt được độ nhạy áp điện cao và độ bền cơ học tốt.

1.2. Các ứng dụng của Bari Titanat trong thực tế

Bari-Titanat (BaTiO3) có nhiều ứng dụng quan trọng trong thực tế. Chúng được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị như transducer siêu âm, cảm biến áp suất, và các linh kiện điện tử. Ứng dụng siêu âm của Bari-Titanat bao gồm các thiết bị y tế để chẩn đoán hình ảnh, các hệ thống kiểm tra không phá hủy trong công nghiệp, và các thiết bị làm sạch bằng sóng siêu âm. Các thiết bị này tận dụng đặc tính áp điện của Bari-Titanat để chuyển đổi giữa năng lượng điện và năng lượng cơ học một cách hiệu quả. Điều này chứng minh tầm quan trọng của việc nghiên cứu vật liệu và phát triển công nghệ chế tạo để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của các ứng dụng của Bari-Titanat.

II. Thách Thức Khi Chế Tạo Sứ Áp Điện Cho Nguồn Siêu Âm

Việc chế tạo sứ áp điện chất lượng cao cho nguồn phát siêu âm đối mặt với nhiều thách thức kỹ thuật. Một trong những thách thức lớn nhất là kiểm soát chính xác thành phần hóa học và cấu trúc tinh thể của Bari-Titanat (BaTiO3). Các tạp chất hoặc sai lệch trong cấu trúc có thể làm giảm đáng kể đặc tính áp điện của vật liệu. Ngoài ra, quá trình nung kết và định hướng phân cực cần được tối ưu hóa để đạt được độ nhạy áp điện cao và độ bền cơ học tốt. Thách thức khác là phát triển các phương pháp chế tạo vật liệu có khả năng tạo ra sóng siêu âm với tần số siêu âm và năng lượng siêu âm mong muốn, đồng thời đảm bảo tính ổn định và tuổi thọ của transducer siêu âm.

2.1. Ảnh hưởng của tạp chất đến đặc tính áp điện

Tạp chất có thể gây ảnh hưởng đáng kể đến đặc tính áp điện của sứ áp điện. Ngay cả một lượng nhỏ tạp chất cũng có thể làm gián đoạn cấu trúc tinh thể và làm giảm khả năng phân cực của Bari-Titanat (BaTiO3). Điều này dẫn đến sự suy giảm hiệu ứng áp điện và làm giảm hiệu suất của nguồn phát siêu âm. Do đó, việc kiểm soát chặt chẽ độ tinh khiết của nguyên liệu và quy trình chế tạo vật liệu là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng của sứ áp điện. Các phương pháp phân tích hiện đại được sử dụng để phát hiện và loại bỏ các tạp chất, từ đó nâng cao độ nhạy áp điện và độ bền cơ học của vật liệu.

2.2. Khó khăn trong việc kiểm soát tần số siêu âm

Việc kiểm soát chính xác tần số siêu âm là một thách thức quan trọng trong chế tạo sứ áp điện. Tần số siêu âm phụ thuộc vào nhiều yếu tố, bao gồm kích thước, hình dạng và đặc tính áp điện của vật liệu. Để tạo ra sóng siêu âm với tần số siêu âm mong muốn, cần phải kiểm soát chặt chẽ các thông số chế tạo vật liệu và sử dụng các kỹ thuật gia công chính xác. Ngoài ra, cần phải xem xét ảnh hưởng của nhiệt độ và áp suất đến tần số siêu âm để đảm bảo tính ổn định của transducer siêu âm trong các điều kiện hoạt động khác nhau.

2.3. Yếu tố độ bền cơ học trong ứng dụng siêu âm

Độ bền cơ học là một yếu tố quan trọng cần xem xét trong ứng dụng siêu âm. Transducer siêu âm thường phải chịu tải trọng cơ học lớn do rung động ở tần số cao. Nếu độ bền cơ học của sứ áp điện không đủ, nó có thể bị nứt hoặc vỡ, dẫn đến hỏng hóc thiết bị. Việc cải thiện độ bền cơ học của Bari-Titanat (BaTiO3) có thể đạt được bằng cách tối ưu hóa quy trình nung kết, thêm các chất phụ gia để tăng cường liên kết giữa các hạt, và sử dụng các kỹ thuật gia công để giảm thiểu ứng suất dư. Điều này đảm bảo rằng vật liệu áp điện có thể hoạt động ổn định và bền bỉ trong các ứng dụng siêu âm.

III. Phương Pháp Chế Tạo Sứ Áp Điện Bari Titanat Hiệu Quả

Nghiên cứu này tập trung vào một số phương pháp chế tạo sứ áp điện Bari-Titanat (BaTiO3) hiệu quả. Phương pháp đầu tiên là phương pháp phản ứng pha rắn, trong đó các oxit kim loại được trộn lẫn và nung ở nhiệt độ cao để tạo thành Bari-Titanat. Phương pháp thứ hai là phương pháp sol-gel, trong đó các tiền chất hữu cơ được sử dụng để tạo ra một dung dịch keo, sau đó được nung để tạo thành sứ áp điện. Phương pháp thứ ba là phương pháp thủy nhiệt, trong đó Bari-Titanat được tổng hợp trong môi trường nước ở nhiệt độ và áp suất cao. Các phương pháp này có ưu và nhược điểm riêng, và việc lựa chọn phương pháp phù hợp phụ thuộc vào yêu cầu cụ thể của ứng dụng siêu âm.

3.1. Quy trình phản ứng pha rắn trong chế tạo vật liệu

Quy trình phản ứng pha rắn là một phương pháp phổ biến trong chế tạo vật liệu. Quá trình bắt đầu bằng việc trộn các oxit kim loại như Bari cacbonat (BaCO3) và Titan đioxit (TiO2) theo tỷ lệ stoichiometric. Hỗn hợp này sau đó được nghiền mịn và nung ở nhiệt độ cao (thường từ 1000-1400°C) để tạo thành Bari-Titanat (BaTiO3). Nhiệt độ nung, thời gian nung, và tốc độ gia nhiệt/làm nguội là những yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến kích thước hạt, độ tinh khiết, và đặc tính áp điện của sản phẩm. Sau khi nung, vật liệu có thể được nghiền lại và nung lại để cải thiện độ đồng nhất và loại bỏ các pha không mong muốn.

3.2. Ưu điểm của phương pháp Sol Gel

Phương pháp sol-gel mang lại một số ưu điểm so với phương pháp phản ứng pha rắn. Nó cho phép kiểm soát tốt hơn thành phần hóa học và kích thước hạt của Bari-Titanat (BaTiO3). Quá trình bắt đầu bằng việc hòa tan các tiền chất kim loại trong một dung môi hữu cơ để tạo thành một dung dịch keo (sol). Sau đó, dung dịch này được thủy phân và ngưng tụ để tạo thành một mạng lưới gel. Gel này sau đó được sấy khô và nung để loại bỏ các chất hữu cơ và tạo thành sứ áp điện. Phương pháp sol-gel có thể tạo ra vật liệu với kích thước hạt nhỏ và phân bố đồng đều, dẫn đến cải thiện độ nhạy áp điện và độ bền cơ học.

IV. Kết Quả Nghiên Cứu và Ứng Dụng Sứ Áp Điện BaTiO3

Nghiên cứu này đã đạt được một số kết quả quan trọng trong việc chế tạo và ứng dụng sứ áp điện Bari-Titanat (BaTiO3). Các mẫu sứ áp điện được chế tạo bằng phương pháp phản ứng pha rắn và phương pháp sol-gel đã được kiểm tra đặc tính áp điện và hiệu suất nguồn phát siêu âm. Kết quả cho thấy rằng phương pháp sol-gel tạo ra vật liệu với độ nhạy áp điện cao hơn và hiệu suất siêu âm tốt hơn. Các ứng dụng tiềm năng của sứ áp điện BaTiO3 bao gồm các thiết bị y tế, các hệ thống kiểm tra không phá hủy, và các thiết bị làm sạch bằng sóng siêu âm.

4.1. Đánh giá đặc tính áp điện của mẫu BaTiO3

Các mẫu Bari-Titanat (BaTiO3) được chế tạo bằng các phương pháp khác nhau đã được đánh giá đặc tính áp điện bằng các phương pháp đo điện môi và đo hiệu ứng áp điện trực tiếp. Các thông số như hằng số điện môi, hệ số áp điện d33, và hệ số cơ điện kt đã được xác định. Kết quả cho thấy rằng các mẫu được chế tạo bằng phương pháp sol-gel có hằng số điện môi cao hơn và hệ số áp điện d33 lớn hơn so với các mẫu được chế tạo bằng phương pháp phản ứng pha rắn. Điều này cho thấy rằng phương pháp sol-gel có thể tạo ra vật liệu với đặc tính áp điện vượt trội.

4.2. Thử nghiệm hiệu suất của nguồn phát siêu âm

Các mẫu sứ áp điện Bari-Titanat (BaTiO3) đã được sử dụng để chế tạo các transducer siêu âm, và hiệu suất của các nguồn phát siêu âm này đã được thử nghiệm bằng cách đo cường độ sóng siêu âm phát ra trong môi trường nước. Các thông số như tần số siêu âm, băng thông, và năng lượng siêu âm đã được xác định. Kết quả cho thấy rằng các transducer siêu âm được chế tạo từ vật liệu sol-gel có hiệu suất cao hơn so với các transducer được chế tạo từ vật liệu phản ứng pha rắn. Điều này cho thấy rằng vật liệu sol-gel có thể được sử dụng để chế tạo các nguồn phát siêu âm hiệu quả cao.

V. Kết Luận và Hướng Phát Triển Nghiên Cứu Sứ Áp Điện

Nghiên cứu này đã chứng minh rằng sứ áp điện Bari-Titanat (BaTiO3) là một vật liệu tiềm năng cho ứng dụng trong nguồn phát siêu âm. Phương pháp sol-gel là một phương pháp chế tạo vật liệu hiệu quả để tạo ra Bari-Titanat với đặc tính áp điện vượt trội. Các nghiên cứu trong tương lai nên tập trung vào việc tối ưu hóa quy trình chế tạo vật liệu, cải thiện độ bền cơ học, và mở rộng các ứng dụng của sứ áp điện trong các lĩnh vực khác nhau. Việc phát triển các kỹ thuật chế tạo màng mỏng cũng là một hướng đi đầy hứa hẹn để tạo ra các transducer siêu âm với kích thước nhỏ và hiệu suất cao.

5.1. Đánh giá tiềm năng của kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Kỹ thuật chế tạo màng mỏng có tiềm năng lớn trong việc tạo ra các transducer siêu âm với kích thước nhỏ và hiệu suất cao. Các màng mỏng áp điện có thể được chế tạo bằng các phương pháp như phún xạ, lắng đọng hơi hóa học, và epitaxy chùm phân tử. Ưu điểm của kỹ thuật chế tạo màng mỏng là khả năng kiểm soát chính xác độ dày, thành phần, và cấu trúc của màng mỏng. Điều này cho phép tối ưu hóa đặc tính áp điện và tạo ra các transducer siêu âm với tần số siêu âm cao và băng thông rộng.

5.2. Hướng nghiên cứu về vật liệu Bari Titanat thế hệ mới

Nghiên cứu về vật liệu Bari-Titanat (BaTiO3) thế hệ mới đang tập trung vào việc cải thiện đặc tính áp điện, độ bền cơ học, và tính ổn định nhiệt của vật liệu. Các hướng nghiên cứu bao gồm việc thêm các chất phụ gia để điều chỉnh cấu trúc tinh thể, tạo ra các vật liệu composite với các polyme hoặc gốm khác, và phát triển các phương pháp xử lý bề mặt để tăng cường liên kết giữa vật liệu và điện cực. Mục tiêu là tạo ra các vật liệu áp điện có thể hoạt động ổn định và hiệu quả trong các điều kiện khắc nghiệt.

Trích đoạn nội dung tài liệu

-;- — wa 4g về SỞ KHOA HỌC - CÔNG NGIIỆ THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH CHUONG TRINH VAT LIEU MGI BAO CAO THUC MIEN DE TAL: CHE TAO SU AP DIEN LAM NGUON PHAT SIEU AM CHỦ NHIÊM ĐỀ TÀI : GS. NGUYEN AN ViNIT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH THANG 10.2003 -2~ „ ĐỂ TÀI KHOA HỌC CẤP THÀNH PHỐ - “CHẾ TẠO SỨ ÁP ĐIỆN LÀM NGUỒN PHÁT SIÊU ÂM” Chủ nhiệm để tis GS. NGUYEN AN VINIE A. PHAN TONG QUAN.

GIÚI THIÊU ĐỀ TẠI : Tên để lài : “Chế tạo sứ áp điện làm nguồn phát siêu âm” Chủ nhiệm để tài : G5. NGUYỄN AN VINH Cơ quan chủ trì để tài : VIÊN CÔNG NGHỆ HÓA HỌC I Mạc Dỉnh Chỉ, Quận ï, TP.Hồ Chí Minh Co quan quan ly dé tai: SỞ KHOA HỌC - CÔNG NGHỆ TP.HỖ CHÍ MINH Thời gian thực hiện để tài : 9.2003 Kính phí đã được duyệt : Hai trăm triệu đểng Kinh phí đã cấp : Một trăm sầu mươi triệu đồng.1 TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU TRONG VÀ NGOÀI NƯỚC Kỹ thuật siêu âm trong các thiết bị kiểm tra — do lường không phá hủy, chẩn đoán bằng hình ảnh và điều trị bệnh, trong các thiết bị gia công chính xác và tẩy rửa. được sử đụng ngầy càng rộng rãi ở nước ta. Trên thế giới, nguồn phát siêu âm thường được làm bằng vật liệu thạch anh đơn tỉnh thể là loại vật liệu tự nhiên, nhưng rất hiếm hoi, được thay thế dẫn bằng vật liệu tổng hợp, trong đó loại vịt liệt tổng hợp có tính ấp điện được sử dụng đâu tiên và có tính kinh tế cao buổi ban đẫn là sứ áp điện Hari - tínnat đa tỉnh thể với bình dang phòng phú ty theo yêu cÂu sử Vào thập kỷ 60, vật liệu sứ ấp điện Bari - tỉtanat được, nghiên cứu toàn diện để ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau.

Trên nguyê n lý cơ i -3~ bản của vật liệu Sứ Bari - tỉanat ngày cầng được cải tiến, nhiều loại vật liệu sứ áp điện đã ra đời có sức bên cơ học và công suất áp điện rất lớn như loại sứ áp điện Chì-zirconat-titanat. Trong những năm gần đây, Sứ áp điện hiện đại còn được dùng trong chế tạo các động cơ đặc biệt, trong hệ thống, liên kết giữa kỹ thuật cảm biến đo lường và thao tác chấp hành, trong nhiều loại thí: bị tự động hóa. Từ đó, vật liệu sứ áp điện còn được gọi là “Vật liệu thông minh”. Song hiện nay, việc chuyển giao công nghệ, mua fi Xăng hoặc dây chuyển thiết bị sẩn xuất sứ áp điện của nước ngoài nói chung rất tốn kém.

Vật liệu sứ áp điện chứa nhiều hầm lượng chất xám, có nguồn nguyên liệu trong nước và có thể tổ chức chế lạo trong nước mà không đòi hổi nhiều vốn đầu tư ban đầu. Chế tạo vật liệu Sứ áp điện trỏng nước có thể đi lên từ việc nghiên cứu cơ sở khoa học và công nghệ chế tạo Sứ áp dién Bari - titanat. Hiện nay, trong nước cũng đã có vài thử nghiệm chế tạo loại sứ áp điện hiện đại, nhưng chưa thấy công trình nào được phổ biến, đi sâu vào cơ sở khoa học của công nghệ chế tạo sứ áp điện mà các nước 'công nghiệp phát triển vẫn còn đang tiếp tục nghi ên cứu, đặc biệt lì việc ứng dụng các nguyên lý của “Công nghệ Nanô” và “Tính chát tự tổ chức của vật thể vô cơ”, 1.2 MỤC TIÊU ĐỂ TÀI :. Chế tạo bộ chấn tử lam nguồn phát siêu âm bằng vật liệu sứ áp điện Bari — titanat và lắp ráp bộ chấn tử vào bổn rửa siêu âm dùng cho tẩy tửa công nghiệp, như tẩy rửa sản phẩm bằng kim hoàn v.

‘Qua dé, nfm được qui trình công nghệ chế tạo Sứ áp điện từ thấp lên cao, góp phẩn nâng cao trình độ chế tạo máy móc thiết bị trong nước với chỉ phí thấp hơn thiết bị nhập từ nước ngoài. Bộ chấn tử siêu âm cẨn đạt những thông số kỹ thuật cơ bản như sau: : - Hang số điện môi é = 600.1000 - Nhiệt độ Curie — T,= 150"C - Tần số cộng hưởng f = 20.40 kHz - Công suất sắn phẩm bổn rửa siêu âm : P =I0W/I ~h - 1.3 NỘI DỤNG NGHIÊN CỨU ; Nội dung nghiên cứu bước đầu cho phù hợp với nguồn kinh phí và cũng rất hợp lý là : a. Nghiên cứu thành phần nguyên liệu và các phụ gia, b. Nghiên cứu quá trình tạo ra tỉnh thể dp dién Bari-titanat BaTiOs, c.

Nghiên cứu quá trình thiêu kết sứ áp điện, d. Nghiên cứu sự định hướng phân cực nhằm tăng hiện ứng áp diện, 6. Hoàn chỉnh bộ chấn tử Tho nguồn phil siGte ñm, tạo cộng hưởng vdi mach phat cao tan, 2. CHUAN BỊ CƠ SỞ VẬT CHẤT - KỸ THUẬT THỤC HIỆN ĐỀ TÀI 2.1 QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ CƠ BẢN CHE TAO SU AP DIEN BATIO,: Quy trình công nghệ cơ bản chế tạo Sứ ấp điện BaTiO› có thể tóm tắt như sau (xem hình vẽ 1): Thành phẩn nguyên liệu và các phụ gia được chọn lựa nhằm tạo điều kiện tối ưu cho phôi liệu trong quá trình được nung nóng và lầm nguội tự nhiên, để hình thành các tỉnh thể ấp điện.

Phôi liệu này được nghiễn rây với cỡ hạt nhất định và sau đó được ép phôi tạo dạng vớ† lực ép cân thiết cho quá trình thiêu kết tạo ra sản phẩm sứ áp điện. ` Sứ ấp điện đã thiêu kết được phủ màng kim loại để tạo lớp dẫn điện, sau đó được phóng điện trường một chiểu cao áp để định hướng phân cực nhằm tăng hiệu ứng áp điện, chuyển đổi sự phân cực tự phát sang sự phân cực cổ định hướng trong tỉnh thể sứ áp điện.2 CÁC NGUYÊN LIỆU CHỦ YẾU VÀ CÁC PHỤ GIA : - Các nguyên liệu chủ yếu và các phụ gia cho sứ áp điện Bari - titanat gồm có : a. Cac chất tạo ra thành phần cơ ban cho tỉnh thé BaTiO,, b. Các chất có tác đụng dịch chuyển nhiệt độ Curie Te dé cho Sứ ap điện có thể hoạt động tốt trong vùng nhiệt độ bình thường (20° + 40°C).

~5- QUI TRÌNH CÔNG NGHỆ CƠ BẢN CHẾ TẠO SỨ ÁP ĐIỆN BaTiO; Thành phẪn nguyên liệu Định hướng phẩn cực và các phụ gia từng hiệu tng áp điện bn Nung nóng lưu nhiệc một chiều Điện trườ, 3 Phủ mằng kim loại Tạo tỉnh thể áp diện tạo lớp dẫn diện Lâm nguội Lầm nguội tự nhiên tự nhiên Nghiễn rây và “Tạo cỡ hạt Nưng thiêu kết ép phôi tạo đạng > sứ áp điện lực ép -€- c. Che chất có thể tạo ra pha lỏng ở nhiệt độ tương đối thấp và qua đó có tác đụng làm tăng độ bên chặt cửa vật liệu khi thiêu kết. Các phụ gia hỗ trợ quá trình trao đổi nguyên tử và Ton tạo ra tỉnh thể Sứ áp điện, 3⁄3 CÁC TIẾT BỊ CÔNG NGHỆ: / Xuất phát từ qui trình công nghệ cơ bản chế tạo Sứ áp dién Bari — tianat BaTiO, việc thực hiện đề tài cần tốt thiểu các thiết bị như sau : a. Lò nững nhiệt độ cao với các thanh đốt Carbon-silic SIC (1400° vA Molybden-silie MoSi; (16002 C) C) (xem hình vẽ 2).

Mầy ép thủy lực với lực ép 50 tấn, Lực ép phôi cho các loại sứ ôxXit kim loại thường cao hơn nhiều §o với lực ép cho Sứ sili (xem hình vẽ 3). Thiết bị phóng điện trường một chiểu cao áp (1 = 3kV) để hudng phan cực định tầng hiệu ng fip didn, ting công suất cho Sứ áp điện (xem hình 4). Với nguồn kinh phí hạn chế, nên trong dé tai nghiên cứu này không để cập đến việc sử dụng các thiết bị công nghệ chế tạo Sứ áp có ứng dụng phương pháp kết điện tỉnh từ vô định hình như: - LO nung nhiệt độ 1.700, như nung bing Plasma, - Nồi nấu phôi chảy lỏng với nhiệt độ [.700°C, như nồi Platin. - Thiết bị lầm nguội cực nhanh với hệ thống trục cần vật liệu vô định hìmh, 2.4 CÁC PHƯƠNG TIỀN KỸ THUẬT ĐỌ KIỂM : Các phương tiện đo kiểm cho những thông số kỹ'thuật chủ yếu của chấn tử siêu âm gồm các thiết bị như sau ; *, THIẾT bị đo hằng số điện môi - của tấm Sứ ấp điện có thể thông qua đo năng lực tích điện C, rồi tính ra Hằng số điện môi của Sứ ấp điện được coi nhự một tự điện tấm phẳng (xem hình vẽ 3).

Các máy đo tần số hữu tuyến và vô tuyến : - ~ Máy đo tần số hữu tuyến để đo tân số của đồng điện kích thích chấn tử siêu âm tạo ra cộng hưở ng. - May do tan số vô tuyến có thể đo tân số siêu âm được phát ra khi có hiện tượng cộng hưởng (xem hình vẽ 6). i -7- i SƠ ĐỒ LÒ NUNG SỨ ÁP ĐIỆN NHIỆT ĐỘ TỪ 30°C BẾN 1600°C Hinky ue 2 CAN NHIỆT LOẠI K THANH ĐỐT MoSi, SỨ ÁP DIỆN GẠCH CHỊU LỬA BIẾN ÁP 300Amn KHỞIĐÔNG TỪ CHÍNH VOLT KẾ A “ _H Mac | OOOO pepe BỘ ĐIỀU KHIEN NINET AMP, KE ĐỘ HIỆN SỐ CÔNGTÁC |— ~ —@ YQ ————-<--| — ] CôNG TẮC ĐIÊU NGUỒN KHIỂN 2 VỊ THÍ 220V ĐÈN BẢO OAT ANHL Nag ONYS 10Hd AYT NYLOSOATAQHLaa ay | GHẾ TRƯỚC KHI THIÊU KẾT Hinks vf3 fl ———— — 9]g of uony 91 08 vont S| EP PH ÔI F—————— wt uonyy way 95 Bupa dp 19ug toud 36g wey uonyy soud Agy #9 Sung Supnp ugayy ~9- SO pd PHONG BIEN TRƯỜNG MOT CHIEU Henl ve# N4 BẶÌ A 220V <] C7 ¬ 0V-. 3KV Ộ MAY BIEN AB VA ĐỊNH THỜI GIAN CHỈNH LƯU 3KV PHÓNG ĐIỆN TU SAY 35°C -4.

300°C = — — | CAN NHIỆT 777217177777 Z x ⁄ ⁄⁄ ⁄ QUẠT ứ Ì LƯU ⁄ ⁄ ⁄ ⁄⁄2 ⁄ ———]]2“ ⁄ NE /-——= ⁄⁄ ⁄⁄ -| 120 [O ⁄⁄ ⁄⁄ fae [8 ot[T_T] 220v SỨ ÁP ĐIỆN. | | ĐIỆN TRỞ NHIỆT | BỘ ĐIÊU KHIỂN NHIỆT ĐỘ - 10 = SƠ ĐỒ ĐO HẰNG SỐ ĐIỆN MỘI CỦA SU AP BIEN Hinks veS ‹ MAY BO HANG SO BIEN MOL £z MN Ron CUC BO HAI MAT SỬ ÁP ĐIỆN BÀN ÉP TIẾP XÚC - 1¬ SƠ ĐÔ ĐO TẤN SỐ CỘNG HƯỚNG & CÔNG SUẤT (CUA SU AP BIEN LAM NGUON PHAT SIEU AM) Henk €6 Sk tw HIẾN THỊ, AC220V ” CÔNG SUẤT ,——tm——~- lái ISk Sw a. MẠCH CÔNG SUẤT MAY BO TAN SO HỮU TUYẾN CUỘN ĐÃY CỘNG HƯỠNG CÓ LỐI THAN CHÍNH AFC MÁY ĐO TẤN SỐ VÔ TUYỂN CHAN TU PHAT SIÊU ÂM | - 42 ~ c. Mấy đo công suất hệ dao động của chấn tử siêu âm, để từ đó tính ra công suất của bổn rửa siêu âm (xem huh vé 6).

BEY UNG Ap DIEN : 31 HIỆU ỨNG ÁT ĐIỆN Ở THACH ANH: lHên ứng áp điện c4 thể quan sất để đàng ở thạch anh, mot dang đơn tỉnh thể tự nhiên (xem hình vẽ ?