CHƯƠNG 1. Nguồn gốc phát sinh chất thải đồng clorua từ sản xuất mạch điện tử 1. Sơ lược về mạch in và quá trình chế tạo Mạch điện tử (pcb) là một phần không thể thiếu của bất kỳ thiết bị điện tử nào từ đơn giản tới phức tạp. Cấu tạo của một PCB gồm các đường mạch bằng đồng kim loại tinh khiết làm nhiệm vụ dẫn điện được bố trí trên tấm nền cách điện, chịu nhiệt.
Tùy thuộc vào yêu cầu của mạch điện mà mạch in được chế tạo với số lớp khác nhau: - Mạch in hai lớp với một mặt bằng đồng, dùng phổ biến ở các thiết bị dân dụng giá rẻ như chuột máy tính, ti vi, thiết bị âm thanh, các điều khiển quạt, lò vi sóng,. - Mạch in ba lớp với hai mặt bằng đồng và một lớp cách điện thích hợp cho lắp đặt linh kiện dán, trong các thiết bị điện tử phức tạp hơn như hệ thống đo lường, ti vi LCD, các bộ chuyển đổi nguồn điện AC – DC. - Mạch in năm lớp, với ba lớp đồng và hai lớp cách điện, dùng trong các hệ phức tạp cao điển hình như như máy tính cá nhân. - Mạch in nhiều lớp hơn, dùng trong thiết bị có kết nối phức tạp và cần tiết kiệm không gian như trong điện thoại thông minh, máy tính bảng.
Nguyên liệu để chế tạo bảng mạch in là phíp đồng (một dạng compozit gồm hai thành phần là nhựa nền và sợi gia cường, được phủ bằng lớp đồng mỏng ở một hoặc cả hai mặt). Các loại mạch in nhiều lớp cơ bản được tạo nên bằng cách dán chồng nhiều lớp phíp đồng với nhau. Phíp đồng nguyên liệu và mạch in sản phẩm có dạng như Hình 1.1: Phíp đồng và bảng mch in hoàn chỉnh. Trong công nghiệp, để chế tạo mạch in hoàn chỉnh bắt nguồn từ phíp đồng cần trải qua nhiều công đoạn.
Trong đó, hai khâu quan trọng nhất là in hình đường mạch lên phíp đồng và sau đó ăn mòn. Quy trình chế tạo mạch in loại một lớp được mô tả trong Hình 1. Đại học Bách Khoa Hà Nội 9 Lun văn thc s khoa hc Hình 1.2: Sơ đồ quy trình chế to mch in một lớp. Sau khi in các đường mạch bằng mực in chuyên dụng có chức năng bảo vệ lớp mạch đồng bên dưới (Hình 1.3a), phíp đồng được cho tiếp xúc với hóa chất ăn mòn nhằm hòa tan phần đồng kim loại không được lớp mực in che phủ.
Quá trình ăn mòn mạch được thực hiện trong các máy ăn mòn kín chuyên dụng. Dung dịch ăn mòn ở nhiệt độ thích hợp được phun lên phíp đồng, hòa tan đồng kim loại thừa. Trong quá trình ăn mòn, lượng đồng kim loại hòa tan trong dung dịch ngày càng tăng kéo theo đó là tốc độ ăn mòn giảm dần. Thực tế, yêu cầu tốc độ ăn mòn cho lớp đồng độ dày 35 µm là khoảng 1 phút.
Do vậy, để đảm bảo tốc độ ăn mòn, dung dịch cần được thay mới định kỳ. Đây là nguồn phát sinh chính chất thải chứa đồng trong quy trình công nghệ sản xuất mạch điện tử. Sau khi kết thúc ăn mòn, người ta rửa bỏ lớp mực in mạch bằng hóa chất chuyên dụng để lộ ra lớp mạch đồng, sau đó thêm các công đoạn hoàn thiện như khoan lỗ, phủ chống oxi hóa, v. để tạo thành mạch in sản phẩm (Hình 1.
Đại học Bách Khoa Hà Nội 10 Lun văn thc s khoa hc Hình 1.3: Mch in trước và sau khi ăn mòn. a) Phíp đồng với các đường mạch được in trước khi ăn mòn. b) Bảng mạch hiện ra sau khi ăn mòn. Quá trình ăn mòn mạch in và đặc điểm dung dch ăn mòn thải Để hòa tan đồng kim loại trong công đoạn ăn mòn có thể sử dụng nhiều hóa chất khác nhau.
Tuy nhiên, dung dịch ăn mòn đồng trong sản xuất mạch in phải đáp ứng một số tiêu chí quan trọng như: tốc độ ăn mòn nhanh, mức độ ăn mòn lấn vào đường mạch nhỏ, mức độ bão hòa đồng trong dung dịch lớn, dễ điều khiển quá trình, chi phí cho xử lý chất thải thấp, v. Về cơ bản, người ta sử dụng chủ yếu ba hệ hóa chất để ăn mòn mạch in gồm: hệ sắt III clorua (FeCl3), hệ đồng clorua (hỗn hợp của CuCl2 + HCl), và hệ amoni (hỗn hợp của Cu(NH3)42+ + NH 4Cl). FeCl3 đã được sử dụng từ rất lâu trong sản xuất mạch in. Mặc dù là hóa chất có khả năng ăn mòn đồng mạnh, khá an toàn cho người sử dụng nhưng nhược điểm của nó là nồng độ đồng bão hòa trong dung dịch thấp và việc xử lý dung dịch thải, tái sinh đồng rất khó khăn dẫn tới nguy cơ ô nhiễm môi trường cao.
Trong sản xuất mạch in quy mô công nghiệp từ cuối thế kỉ 20 trở lại đây, FeCl3 đã gần như bị thay thế hoàn toàn bởi các hóa chất ưu việt hơn. Hóa chất ăn mòn hệ amoni (Cu(NH 3)4 2+ + NH4Cl) là loại được đưa vào sử dụng gần đây nhất và rất được ưa chuộng ở các nước châu Âu. Khả năng ăn mòn của Cu(NH3)42+ là tương đương với hỗn hợp (CuCl2 + HCl) và cao hơn so với FeCl3 , trong khi môi trường kiềm nhẹ cho phép vận hành an toàn hơn. Các nghiên cứu mới đây [12, 13, 14] cho thấy, dung dịch thải từ quá trình ăn mòn mạch in sử dụng Cu(NH3)42+ có thể thu hồi đồng hiệu quả bằng phương pháp chiết, đồng thời dung dịch sau khi thu hồi đồng có thể tiếp tục sử dụng cho quá trình ăn mòn mạch.
Từ đó, công nghệ này được đánh giá là thân thiện với môi trường nhất. Nhược điểm việc sử dụng hệ ăn mòn amoni là chi phí cho vận hành cao do các hóa chất đắt và việc điều khiển quá trình ăn mòn còn gặp nhiều khó khăn [1]. Hỗn hợp (CuCl 2 + HCl) cho tốc độ ăn mòn cao hơn so với FeCl3, đồng thời mức độ ăn mòn lấn vào đường mạch nhỏ. Lượng đồng được hòa tan chứa trong dung dịch CuCl2 khi ăn mòn có thể lớn gấp 3 lần so với FeCl3.
Cùng với khả năng điều khiển quá trình ăn mòn dễ dàng khiến việc sản xuất mạch in sử dụng Đại học Bách Khoa Hà Nội 11 Lun văn thc s khoa hc hỗn hợp (CuCl2 + HCl) rất hiệu quả và chi phí vận hành thấp. Nhược điểm của ăn mòn mạch in hỗn hợp (CuCl2 + HCl) là môi trường axit nồng độ cao do đó yêu cầu khắt khe về mặt thiết bị. Mặc dù vậy, khoảng 95% lượng mạch in trên thế giới hiện nay được sản xuất bằng công nghệ ăn mòn sử dụng hỗn hợp (CuCl 2 + HCl) [1]. Các tính chất quan trọng của một số loại hóa chất ăn mòn được nêu trong Bảng 1.1: Tính chất của một số loi hóa chất ăn mòn mch.
Tải lượng Chi Nhiệt độ Tốc độ ăn Mức độ Mức độ đồng phí Hóa chất ăn mòn mòn xâm nguy trong dd vận (oC) (µm/phút) lấn hại (g/l) hành (CuCl2 + Trung Thấp 50 ÷ 54 25 ÷ 50 Thấp 120 ÷ 170 HCl) bình Trung (FeCl3) 43 ÷ 49 25 ÷ 50 Thấp 40 ÷ 60 Thấp bình Cu(NH 3)42+ Trung 43 ÷ 55 30 ÷ 60 Rất thấp 140 ÷ 180 Cao + NH4Cl) bình H 2SO 4 + - 43 ÷ 55 - Thấp 50 ÷ 90 - H2O2 (NH4)2S2O 8 38 ÷ 55 7 cao 40 ÷ 55 - - CrO 3 + - 26 ÷ 33 - Rất thấp 50 ÷ 60 - H2SO4 Ăn mòn mạch in bằng hỗn hợp (CuCl 2 + HCl) chỉ diễn ra trong thời gian một vài phút nhưng bao gồm một chuỗi phản ứng phức tạp. Theo [2], bản chất quá trình ăn mòn mạch in bằng (CuCl2 + HCl) diễn ra như sau: Ban đầu, CuCl 2 dưới dạng chất rắn kết tinh CuCl 2.2H2O được hòa tan vào axit clohydric đậm đặc để tạo thành dung dịch ăn mòn có màu xanh lá cây, nồng độ khoảng 20 g/l Cu2+. Thực tế, trong dung dịch có dư HCl, CuCl2 không tồn tại độc lập mà luôn liên kết với 2 phân tử HCl dưới dạng phức chất H2CuCl4: 2HCl + CuCl2 = H2CuCl4 (1.1) Khi dung dịch ăn mòn tiếp xúc với đồng kim loại, phản ứng xảy ra như sau: H2CuCl4 + Cu = H2CuCl 3 + CuCl (1.2) CuCl là chất rắn không tan trong nước, tuy nhiên nếu trong dung dịch còn dư axit clohydric nó sẽ bị hòa tan theo phản ứng: CuCl + 2HCl = H2CuCl3 (1.3) Theo [2], mô tả quá trình ăn mòn mạch in như Hình 1. H2 CuCl3 xuất hiện theo các phản ứng (1.3) làm cho dung dịch ăn mòn chuyển từ màu xanh lá ban đầu thành màu nâu đen.
Trong quá trình ăn mòn, nồng độ H2CuCl4 và HCl giảm dần, nồng độ H2CuCl3 tăng dần. Khi nồng độ HCl trong dung dịch không đủ cho phản ứng (1.3) thì bắt đầu xuất hiện kết tủa trắng CuCl bám trên bề mặt đồng làm cho tốc độ ăn mòn bị chậm lại. Sau đó, một quá Đại học Bách Khoa Hà Nội 12 Lun văn thc s khoa hc trình khác phải được thực hiện để phục hồi lại dung dịch. Về cơ bản, đó là phải thêm chất oxi hóa để chuyển H2 CuCl3 thành H2CuCl4 và bổ sung thêm HCl mới vào dung dịch để có thể tiếp tục xảy ra quá trình ăn mòn.
Có nhiều loại chất oxi hóa có thể sử dụng như khí Clo, H 2O2, NaClO3 rắn, v. Tuy nhiên, H2O2 được sử dụng phổ biến nhất do tính an toàn và dễ điều khiển tự động hơn so với các chất khác. Phản ứng phục hồi dung dịch bằng hỗn hợp H2O2 và HCl diễn ra như sau: 2H 2CuCl3 + H2O 2 + 2HCl = 2H2CuCl4 + 2H2O (1.4: Sơ đồ mô tả quá trình ăn mòn mch in. Việc bổ sung HCl và H 2O2 để phục hồi dung dịch ăn mòn làm cho thể tích dung dịch tăng lên (do nồng độ axit clohydric đậm đặc khoảng 36,5 % còn nồng độ H2 O2 đặc khoảng 50 %), vì vậy cần thải bớt một lượng dung dịch tương ứng.
Ngày nay, các máy ăn mòn mạch thường được trang bị các cảm biến đo nồng độ dung dịch từ đó có khả năng tính toán và tự động bổ sung HCl và H 2O2 vào dung dịch ăn mòn. Trong quá trình đó, dung dịch ăn mòn dư thừa chảy ra khỏi máy qua lỗ thoát. Dung dịch ăn mòn thải chứa chủ yếu là CuCl2, một lượng khá lớn HCl dư và có màu xanh lá cây đậm. Với chất ăn mòn là CuCl2 và HCl, nồng độ đồng trong dung dịch ăn mòn được các nhà máy thải ra là khoảng 100 170 g/l Cu2+ mặc dù tối đa trên lý thuyết có thể lên đến 180 g/l Cu2+.
Thông thường, để chế tạo mạch in cần loại bỏ 70 90% lượng đồng trên phíp đồng ban đầu.