Kỹ thuật vi điện tử

Luận án tiến sĩ nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành mems kiểu tĩnh điện răng lược và điện nhiệt chữ v

Luận án tiến sĩ phân tích ảnh hưởng của thông số cấu tạo đến chất lượng bộ vi chấp hành MEMS tĩnh điện và điện nhiệt, cung cấp kiến thức chuyên sâu.