MEMS điện nhiệt

Luận án tiến sĩ nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số cấu tạo đến chất lượng làm việc của bộ vi chấp hành mems kiểu tĩnh điện răng lượng và điện nhiệt chữ v

Luận án tiến sĩ phân tích ảnh hưởng thông số cấu tạo đến hiệu suất bộ vi chấp hành MEMS kiểu tĩnh điện, răng lượng và điện nhiệt chữ V.