cảm biến gia tốc

Luận văn thạc sĩ kỹ thuật cơ khí nghiên cứu thiết kế quy trình chế tạo chip cảm biến gia tốc dựa trên công nghệ vi cơ khối

Luận văn thạc sĩ kỹ thuật cơ khí nghiên cứu thiết kế quy trình chế tạo chip cảm biến gia tốc ứng dụng công nghệ vi cơ khối hiện đại.